靶材分类介绍！

一、靶材介绍

　　靶材是半导体、显示面板、光伏等领域制备功能薄膜的核心原材料，存在工艺不可替代性。

　　由于是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，又称“溅射靶材”，纯度为99.95%以上，更换不同靶材可得到不同的膜系，实现导电或阻挡等功能。

　　不同应用的靶材品种性能要求各有侧重，重视高附加值的原料制备。

　　整体而言，靶材的纯度、致密度和成分均匀性、晶粒等对靶材性能都有**影响，且针对不同的下游影响程度和侧重点有所不同。

　　二、靶材的分类

　　根据不同材质靶材可分为：金属靶材，陶瓷靶材，合金靶材。

　　根据不同应用领域可分为:

　　● 半导体靶材：

　　电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。

　　储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。

　　粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。

　　电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。

　　● 磁记录靶材：

　　垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。

　　硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。

　　薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。

　　人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。

　　● 光记录靶材：

　　相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。

　　磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。

　　光盘反射薄膜：铝靶材，铝钛合金靶材，铝铬合金靶材，金靶材，金合金靶材等。

　　光盘保护薄膜：氮化硅靶材，氧化硅靶材，硫化锌靶材等。

　　● 显示靶材：

　　透明导电薄膜：氧化铟锡靶材，氧化锌铝靶材等。

　　电极布线薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材，钽靶材，铬靶材，铝靶材，铝钛合金靶材，铝钽合金靶材等。

　　电致发光薄膜：硫化锌掺锰靶材，硫化锌掺铽靶材，硫化钙掺铕靶材，氧化钇靶材，氧化钽靶材，钛酸钡靶材等。

　　● 其他应用靶材：

　　装饰薄膜：钛靶材，锆靶材，铬靶材，钛铝合金靶材，不锈钢靶材等。

　　低电阻薄膜：镍铬合金靶材，镍铬硅合金靶材，镍铬铝合金靶材，镍铜合金靶材等。

　　超导薄膜：钇钡铜氧靶材，铋锶钙铜氧靶材等。

　　工具镀薄膜：氮化物靶材，碳化物靶材，硼化物靶材，铬靶材，钛靶材，钛铝合金靶材，锆靶材，石墨靶材等。

部分图文转载自网络，版权归原作者所有，如有侵权请联系我们删除。如内容中如涉及加盟，投资请注意风险，并谨慎决策